简介:
本实用新型公开了一种高速离心式功能材料成膜装置,它包括成膜基板及成膜材料发射源,所述成膜基板为圆筒状,固定在旋转筒内筒壁上,旋转筒与电机连接,成膜材料发射源置于旋转筒内。它由电机带动旋转筒和成膜基板一起高速旋转,使成膜材料产生离心力,而快速沉积在成膜基板而成膜,它具有成膜速度快、质量好等优点。
本实用新型公开了一种高速离心式
功能材料成膜装置,它包括成膜基板及成膜材料发射源,所述成膜基板为圆筒状,固定在旋转筒内筒壁上,旋转筒与电机连接,成膜材料发射源置于旋转筒内。它由电机带动旋转筒和成膜基板一起高速旋转,使成膜材料产生离心力,而快速沉积在成膜基板而成膜,它具有成膜速度快、质量好等优点。