简介： 本发明公开了一种矿物微区微结构微成分分析方法，本发明利用扫描电镜仪器对硅质岩的矿物进行微形貌分析、微结构分析和微组分分析。本发明方法测量结果精准，从微观尺度的角度分析硅质岩的矿物微区、微组构和微成分。探索硅质岩的成因、形成环境与过程，从而深化了对硅质岩的认识。