简介： 本发明涉及用于将靶材料沉积在有机电功能材料上的方法，所述方法包括以下步骤：提供具有有机电功能材料如电致发光发射层的衬底；通过脉冲激光沉积产生靶材料的蒸气羽流；将第一层靶材料沉积在有机电功能材料上，同时保持沉积微粒的最大微粒速率低于预设值；和将第二层靶材料沉积在第一层靶材料上，同时沉积微粒的最大微粒速率高于预设值。本发明还涉及中间产品和涉及有机发光二极管。