简介： 本发明揭示了一种全干法功能材料剥离的方法。本发明通过对衬底进行修饰以降低光刻胶与衬底的粘附力，然后在光刻胶上曝光出所需的结构，再对图案化光刻胶之后的样品镀上功能材料，利用黏贴层选择性的把光刻胶及其上面的功能材料撕走，从而留下图案化之后的功能材料反结构，即代替了现有的湿法剥离方案，实现了高精度绿色的干法剥离。