简介： 本发明公开了一种小晶粒锐钛矿光学薄膜及其制备方法，有效抑制锐钛矿大晶粒现象的技术难题，有效地提高了像增强器输入窗与光电阴极界面的透过率，提高了光电阴极的光电发射效率，属于光电探测领域。本发明所述小晶粒锐钛矿光学薄膜制备在玻璃基底表面。小晶粒锐钛矿光学薄膜由过渡层、锐钛矿薄膜和夹层薄膜组成。锐钛矿薄膜制备在过渡层薄膜表面，在锐钛矿薄膜的基础上制备夹层薄膜，周期性的重复锐钛矿薄膜和夹层薄膜的制作，且表层为锐钛矿薄膜，达到要求的厚度即完成小晶粒锐钛矿光学薄膜制备。