简介： 本发明涉及一种钙钛矿太阳能电池生产的在线监测设备，包括颜色分析装置，和/或温度测试装置，以及数据处理反馈系统，颜色分析装置包括颜色探测头，温度测试装置包括测温探头。钙钛矿太阳能电池基片放置在真空密封舱内进行蒸镀加工生产，密封舱内设置有被蒸发控制系统控制的蒸发源，颜色探测头和测温探头分别对准钙钛矿太阳能电池基片表面或背面区域，数据处理反馈系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。本发明还提供一种钙钛矿太阳能电池生产的在线监测设备的监测方法。本发明通过监测钙钛矿薄膜生产过程中的各类性能参数，控制其反应进程，提高各批次钙钛矿薄膜生产的重复性。