简介： 本发明涉及一种钙钛矿太阳能电池生产过程的在线监控设备，包括X射线光电子能谱分析系统、电子学系统以及分析统计系统，X射线光电子能谱分析系统包括X射线源、电子透镜以及电子能量分析器，在电子能量分析器内设置电子探测器，X射线源发射的X射线照射到钙钛矿太阳能电池基片表面产生光生电子，电子透镜接收到上述光电子并传输至电子探测器，电子探测器将探测到的光电子信号经过电子学系统传输至分析统计系统，分析统计系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。本发明还提供一种使用钙钛矿太阳能电池生产过程的在线监控设备的监测方法。本发明通过监测钙钛矿薄膜的生产过程中的性能参数，控制其反应进程，提高各批次钙钛矿薄膜生产的重复性。