简介： 本发明提供了一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及其制备方法。探测器自下而上的组成依次为透明导电衬底，TiO2金红石相薄膜，TiO2锐钛矿相薄膜和导电电极。其特征在于探测器具有TiO2金红石相和锐钛矿相组成的同质异相结，通过TiO2不同晶相间形成的内建电场促进光生载流子定向分离，降低光生载流子的复合。与传统TiO2基紫外探测器相比，本发明具有无需外加偏压，响应速度快，响应灵敏度高，制备方便等优点。在小于385nm的紫外光照下，在没有外加偏压的测试条件下，自驱动的紫外探测器的光响应可达到1.67mA/cm2。本发明为紫外/深紫外光探测提供了一种新的方法。