压电振子、超声波探头、压电振子制造方法以及超声波探头制造方法
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压电振子、超声波探头、压电振子制造方法以及超声波探头制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本实施方式所涉及的压电振子具备:单晶压电体,由具有氧化镁和氧化铟中的至少一方和氧化铌的铅复合钙钛矿化合物构成,具有晶体取向为[100]面的第1面和与上述第1面对置,并且晶体取向为[100]面的第2面,并被极化;第1电极以及第2电极,上述第1电极设置在上述单晶压电体的上述第1面侧,上述第2电极设置在上述单晶压电体的上述第2面侧。相对于基于上述单晶压电体未极化或去极处理后的密勒指数(400)的衍射X射线的第1半高宽,基于上述单晶压电体的密勒指数(400)的衍射X射线的第2半高宽为0.22以上0.4以下。
本实施方式所涉及的压电振子具备:单晶压电体,由具有氧化镁和氧化铟中的至少一方和氧化铌的复合钙钛矿化合物构成,具有晶体取向为[100]面的第1面和与上述第1面对置,并且晶体取向为[100]面的第2面,并被极化;第1电极以及第2电极,上述第1电极设置在上述单晶压电体的上述第1面侧,上述第2电极设置在上述单晶压电体的上述第2面侧。相对于基于上述单晶压电体未极化或去极处理后的密勒指数(400)的衍射X射线的第1半高宽,基于上述单晶压电体的密勒指数(400)的衍射X射线的第2半高宽为0.22以上0.4以下。
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