简介： 本发明提供一种基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结，属于半导体器件技术领域。本发明公开了一种精确制备锌掺杂铁酸铋/氧化镍薄膜异质结的方法，所述的异质结采用溶胶凝胶技术，可精确控制各层元素化学计量比、同时保证各层薄膜良好的结晶性及均匀致密的形貌，可控性强、工艺简单、制备效率高。本发明实现了锌掺杂铁酸铋与氧化镍的良好匹配、耦合形成异质结结构，利用铁酸铋极化电场和异质结内建电场相结合促进光生载流子输运，获得可见光范围内高速光电响应特性，可用于制作相关半导体光电探测器件，对氧化物钙钛矿薄膜在半导体器件领域的实用化具有重要意义。