简介:
本发明属于光谱测量及成像技术领域,涉及一种激光双轴共焦诱导击穿光谱-拉曼光谱成像探测方法及装置,可用于样品的微区组分与形态参数的高空间分辨成像与探测。该方法与装置利用激光诱导击穿光谱探测样品组分的元素组成信息;利用拉曼光谱探测样品的化学键与分子结构信息;利用双轴共焦技术探测样品表面形貌信息,双轴结构具有大视场、大工作距的优势,并可有效抑制背向散射影响,提高光谱探测信噪比;三者联用可实现结构共用和功能互补,实现样品的形貌和组分信息的综合测量。本发明具有高空间分辨,物质组分信息丰富和测量聚焦光斑尺寸可控等优点,在矿产、冶金、空间探测、环境监测、生物医疗等领域有广泛的应用前景。
本发明属于光谱测量及成像技术领域,涉及一种激光双轴共焦诱导击穿光谱-拉曼光谱成像探测方法及装置,可用于样品的微区组分与形态参数的高空间分辨成像与探测。该方法与装置利用激光诱导击穿光谱探测样品组分的元素组成信息;利用拉曼光谱探测样品的化学键与分子结构信息;利用双轴共焦技术探测样品表面形貌信息,双轴结构具有大视场、大工作距的优势,并可有效抑制背向散射影响,提高光谱探测信噪比;三者联用可实现结构共用和功能互补,实现样品的形貌和组分信息的综合测量。本发明具有高空间分辨,物质组分信息丰富和测量聚焦光斑尺寸可控等优点,在矿产、冶金、空间探测、环境监测、生物医疗等领域有广泛的应用前景。