地质物探波形检测传感器
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地质物探波形检测传感器
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种地质物探波形检测传感器,所述传感器包含有芯体和信号调理电路,所述芯体由晶元衬底(101)以及竖向安装于晶元衬底(101)上的多晶硅弹簧(102)构成,所述芯体的晶元衬底(101)引出两根信号线,所述芯体通过信号线与信号调理电路相连。本发明地质物探波形检测传感器,检测频率范围大且能够有效消除谐振波形。
本发明涉及一种地质物探波形检测传感器,所述传感器包含有芯体和信号调理电路,所述芯体由晶元衬底(101)以及竖向安装于晶元衬底(101)上的多晶硅弹簧(102)构成,所述芯体的晶元衬底(101)引出两根信号线,所述芯体通过信号线与信号调理电路相连。本发明地质物探波形检测传感器,检测频率范围大且能够有效消除谐振波形。
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