KLA inano/ imicro型-纳米压痕仪

iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 可互换的驱动器能够提供大动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出精确及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。 iMicro拥有一整套测试扩展的选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D / 4D性质分布，以及Gemini 2D力荷载传感器，可以提供摩擦和其他双轴测量。

产品描述

iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试，并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。

主要功能

InForce 1000驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头

可选的InForce 50驱动器提供最大50mN的法向力来测量软性材料，并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准

InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数

XY移动系统以及易于安装的磁性样品架

高刚度龙门架，集成隔振功能

带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位

ISO 14577和标准化测试方法

InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序

主要应用

硬度和模量测量(Oliver Pharr)

高速材料性质分布

ISO 14577硬度测试

聚合物tan delta，储存和损耗模量

定量刮擦和磨损测试

样品加热

工业应用

大学、研究实验室和研究所

半导体行业

PVD / CVD硬涂层(DLC，TiN)

MEMS(微机电系统)/纳米级通用测试

陶瓷和玻璃

金属和合金

制药

涂料和油漆

复合材料

电池和储能

汽车和航空航天