工作原理
OST-AF201采用双模式协同工作机制:红外光谱模块搭载迈克尔逊干涉仪与MCT(汞镉碲)检测器,支持7800-600cm⁻¹光谱范围,通过反射/透射模式采集样品分子振动指纹;电子成像模块基于电磁透镜系统,配备5-100kV可调加速电压,可实现0.8nm分辨率成像。设备集成高速数据采集卡与智能算法,实现光谱与图像的毫秒级同步采集,避免传统设备分步检测导致的定位误差。
应用范围
该显微镜广泛应用于半导体行业芯片隐裂检测、倒装芯片键合质量分析,以及MEMS器件热应力分布监测;在材料科学领域,可分析金属腐蚀产物成分、高分子材料老化机制及复合材料界面结合状态;生物医学研究中,支持细胞膜脂质组成动态追踪与肿瘤组织代谢物空间分布成像。其非破坏性检测特性尤其适用于文物修复、法医物证鉴定等敏感场景。
技术参数
OST-AF201配备15倍红外物镜(NA=0.65)与100万倍电子物镜,扫描台定位精度达0.1μm,支持50×75mm样品移动范围;光谱模块信噪比优于54,000:1(1分钟扫描),空间分辨率突破5μm;电子成像系统支持4K超高清输出,帧率达30fps。设备集成100W钨灯照明系统与真空密封样品仓,可适配-196℃至600℃变温样品台。
产品特点
OST-AF201首创“光谱-形貌”双屏联动功能,用户可实时对比化学成分图谱与微观结构图像;搭载AI辅助分析软件,可自动识别缺陷类型、计算成分比例并生成三维分布模型;模块化设计支持快速更换红外检测器(DTGS/MCT可选)与电子探测器(SE/BSE双模式),满足多样化检测需求。其紧凑型机身与人体工学操作界面,显著提升实验室空间利用率与检测效率。