工作原理
FM-NanoviewOp-AFM采用光杠杆式AFM技术与光学显微成像系统集成设计。光学模块通过CCD相机实现样品宏观形貌观察与定位,AFM模块则通过微悬臂探针扫描样品表面,利用激光反射检测探针与样品间的原子间作用力,生成纳米级三维形貌数据。设备支持接触模式、轻敲模式及力学曲线测量,可同步获取光学图像与AFM扫描结果。
应用范围
该设备广泛适用于半导体、材料科学、生物医学及精密制造等领域,主要用于:芯片表面缺陷定位与纳米结构分析;金属、陶瓷、高分子材料的表面形貌与粗糙度检测;生物样本(如细胞、DNA)的微观结构观察;以及纳米材料研发、摩擦学研究及工业产品表面质量控制。
产品技术参数
光学分辨率:0.5μm(明场/暗场)
AFM扫描范围:XY轴50μm×50μm,Z轴8μm
XY轴分辨率:0.2nm
Z轴噪声水平:<0.1nm
扫描速度:0.5-20Hz(可调)
探针类型:氮化硅/金属镀层探针(可选)
样品尺寸:最大直径150mm(兼容标准载玻片)
电源:AC220V±10%, 50Hz
外形尺寸:800×600×750mm
产品特点
一体双模设计:光学显微与AFM检测无缝切换,提升定位效率与检测精度。
高稳定性架构:采用大理石基座与抗震设计,适配实验室与工业环境。
智能化软件:内置自动调平、图像拼接及数据分析功能,支持3D形貌重建与统计计算。
用户友好操作:12.1英寸触控屏集成控制,数据可导出为光学图像、AFM扫描图及力学曲线。
多功能扩展:可选配导电探针、高温样品台及液体环境检测模块,适配复杂研究需求。