简介： 湖南顶立科技的卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）是专为冶金及新材料领域设计的高性能热工装备，广泛应用于碳化硅（SiC）和氮化硼（BN）材料的表面涂层、基体改性及复合材料制备等工艺。该设备采用先进的控制技术，能够精密控制MTS等工艺气体的流量和压力，确保炉膛内沉积气流稳定，压力波动小。其全密闭沉积室设计密封效果好，抗污染能力强，同时多通道工艺气路可实现流场均匀分布，避免沉积死角，显著提升沉积效果。此外，设备配备多级高效尾气处理系统，能够有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好。