芯轴微球干燥及去除装置是一种高精度的实验设备，由干燥单元和去除单元组成，广泛应用于微球材料的干燥和去除处理。干燥单元包含四个304不锈钢干燥室，漏率低，最高压力200kPa，真空度优于20Pa，配备加热保温系统，最高加热至90℃，控温精度1℃。样品台分固定刚性机构和无规运动两种，后者由旋转和敲击组成，转速和敲击频率可调。去除单元同样采用304不锈钢，最高真空度优于5×10⁻²Pa，配备双层水冷设计和电动升降机构。去除室内设置加热组件，最高加热温度400℃，定点300℃时温度起伏不大于0.1℃，样品盘上下100mm范围内的温度偏差不超过1℃。气路系统配备质量流量控制器和压力传感器，出气口设置加热结构，最高加热温度170℃，控温精度高。该装置结构紧凑，自动化程度高，适用于多种微球材料的干燥和去除处理。

1、芯轴微球干燥单元:

四个干燥室，304不锈钢材料，漏率小于1.0x10 Pa.L/s。最高压力200kPa(绝压)，真空度优于20Pa。

样品台分两种:一种是固定刚性机构样品台，共四套，竖直安装在样品室底部。另一种是无规运动样品台，干燥室四专用，一套。无规运动由旋转和敲击组成，转速可调，最快30p;敲击频率可调，最大为

10次/min。

干燥室内均有一套加热保温系统，可使干燥室最高加热至90℃，控温精度1℃。

2、芯轴微球去除单元:

最高压力200kPa(绝压)，最高真空度优于5x10Pa。两个去除室，304不锈钢材料，漏率小于1.0x10 Pa.L/s，立式圆筒形钟罩式结构，双层水冷设计。去除室可电动升降，配电动升降机构。去除室内各设置样品台一套。石英样品托盘五套，直径约φ100mm，中间为多个凹槽设计，凹槽底部为圆弧形且内表面光滑。去除室内均有加热组件一套，加热区高度不小于300m，最高加热温度;400℃;定点300℃时，温度起伏不大于0.1℃:样品盘上下100m范围的空间实际温度偏差不超过1℃去除室气路系统各一套，进气气路配藏止网和质量流量控制器、压力传感器;出气气路配截止网和质量流量控制计。去除室出气至全金属阀门位置设置加热结构，最高加热温度为 170℃，定值控温时温度偷差小于2℃。