F20/F30/F40/F50 膜厚仪系列
Filmetrics®经济实惠的膜厚仪系列，利用光谱反射技术，在几秒钟内就能完成高精度的薄膜厚度测量。这些易于使用的仪器与智能软件和一系列附件和配置相结合，具有非常大的通用性，可测量从几毫米到450毫米大小，厚度从 1 纳米到 3 毫米的薄膜。被广泛应用于半导体、微电子和生物医学等领域。
产品描述
单点厚度测量
一键搞定的薄膜厚度和折射率台式测量系统。 测量 1nm 到 3mm 的单层薄膜或多层薄膜堆。
F20：销量非常好的薄膜测量系统。有各种不同附件和波长覆盖范围。
F3-sX：该系列能测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米。
F10-ARc：可测量镜片和其它曲面的反射率，用于硬涂层厚度测量。
F10-RT：可同时测量反射率和透射率。 提供测量厚度和折射率的可选件。普遍应用于真空涂层领域。
F10-HC：测量硬涂层和防雾层厚度和折射率。聚碳酸酯硬涂层在汽车等行业应用普遍。
F3-CS：提供微小视野及微小样品量测。
F10-AR：测量眼科镜头和其他弯曲表面的反射率。 还可以提供测量硬涂层厚度和透射率的可选件。
微米（显微）级别光斑尺寸厚度测量
当测量斑点只有1微米（µm）时，需要用您自己的显微镜或者用我们提供的整个系统。
F40：可固定到您的显微镜上来测量小至 1 µm 光斑的厚度和折射率。
自动厚度测量系统
几乎任何形状的样品厚度和折射率的自动测绘。人工加载或机器人加载均可。
在线厚度测量系统
监测控制生产过程中移动薄膜的厚度。高达100 Hz的采样率，可以在多个测量位置得到测量结果。
附件
Filmetrics 提供各种附件以满足您的应用需要。
主要技术能力
以F20系列为例：
光谱波长范围：190-1700nm
厚度测量范围：1nm-250μm
测量n&k小厚度：50nm
准确度：取较大值，1nm或0.2%
分辨率：0.02nm
稳定性：0.05nm
光斑大小：1.5mm
样品尺寸：直径从1mm到300mm或更大
半导体薄膜：光刻胶、工艺薄膜、介电材料
液晶显示：OLED、玻璃厚度、ITO
光学镀膜：硬涂层厚度、减反图层
高分子薄膜：PI、PC
主要应用
由于其模块化的性质，F20可以适应多种应用：
1. 厚度、折射率、反射率、透射率的测量：
——单层或多层堆叠薄膜
——衬底材料
——液体薄膜或空气间隙
2. 适用于多种薄膜状态的测量，包括：
——在平面或曲面上
——现场尺寸可小到20微米
3. 量测样品种类：
几乎任何光滑的、半透明的或轻微吸收的薄膜都可以测量。这包括大多数介质和半导体。
适用行业
● 大学，实验室和研究所
● 硅和化合物半导体
● 精密光学和机械
● MEMS：微机电系统
● 生物医学
● 还有更多：请与我们联系并探讨您的要求
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京公网安备 11010702002294号
