简介： 本发明公开一种对单晶硅生产中回收的氩气进行纯化的方法。本发明的氩气纯化的方法是：在反应床中均匀装填纯化处理催化剂，并使催化剂表面保持在同一平面，先通入高纯氧气对催化剂进行预氧化处理，反应装置升温至100℃‑400℃，然后使待纯化的氩气流过催化剂表面，所用的催化剂含Ce、Ni、Sr、Co、Mn、La、Zn、Ga、Mg、Be、Ba、Bi和Cd各组份。本发明的方法使用廉价的钙钛矿型复合氧化物催化剂，其反应条件温和，纯化氩气纯度高，纯化系统反应可去除CO、H₂等，生成CO₂与H₂O，该工艺方法简洁，产品纯化率较高，符合绿色化学概念，同时适合工业化生产。