简介： 本发明公开一种薄膜化质子导体电解质及其制备方法。该制备方法制备的质子导体电解质为钙钛矿结构氧化物，其结构特征组成为：BaZr_1‑xM_xO_3‑δ；式中0≤x≤1，δ表示非化学计量氧；M选自Ce、Y、Al、Yb、Gd、Mg、Ti中的至少一种。该制备方法以萤石结构氧化物致密或多孔片为基体，基体的特征组成为Zr_1‑xM_xO_2‑δ,式中x,M,δ含义与上述相同；在特定条件下与气相Ba源发生反应生成薄膜化的质子导体电解质，该薄膜化电解质的厚度小于10μm，气相Ba源选择BaCO₃、Ba(NO₃)₂、Ba(CH₃COO)₂的一种。该制备方法有望用于固体氧化物燃料电池和电解池中。