简介： 本发明涉及一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，属于化学工程技术领域。一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，包括以下步骤：将同为钙钛矿结构的SrTiO₃(100/111)单晶基片作为衬底，采用固相合成法和激光脉冲沉积法制备钙钛矿结构的La_0.7Sr_0.3MnO₃(100/111)外延薄膜；采用溶胶凝胶法和固相烧结法制备PNNZT靶材，将PNNZT前驱体溶液于室温下搅拌1.5‑2h，并放置24‑30h，自然风干，制得凝胶；所得凝胶干燥、煅烧、研磨、压制制得粒料，所得粒料经过烧结，自然冷却即得所需的PNNZT靶材；制得的PNNZT靶材利用激光脉冲沉积法在底电极上外延制备出多相共存的弛豫铁电外延薄膜。本发明的有益效果是获得具有纯度高、致密性好、平均晶粒尺寸小、电场击穿强度大、电卡效应大等优点的薄膜。