简介： 本发明涉及无机材料中的压电厚膜的制备方法,公开了一种锆钛酸钡和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜的制备方法。它包括以下步骤:(1)按照BaZr0.5Ti0.95O3的化学计量比,制备锆钛酸钡先驱体溶胶;(2)按照K0.5Na0.5NbO3的化学计量比分别称取碳酸钾、碳酸钠和五氧化二铌,混合球磨、干燥、压片、烧结,再经破碎、球磨,制备微纳米级铌酸钾钠粉体;(3)将微纳米级铌酸钾钠粉体与锆钛酸钡先驱体溶胶混合,其中铌酸钾钠的质量含量为40%～70%,制备稳定的混合浆料;(4)重复旋涂工艺-热处理工艺,得到锆钛酸钡和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜。