简介： 一种镍酸镧导电金属氧化物纳米薄膜的制备方法，该方法包括：一、靶材的制备，即首先把分析纯的Ni2O3、La2O3氧化物粉末以1∶1的比例混合，进行预烧，预烧后之后进行球磨，然后压成直径50mm，厚度4mm的圆片，最后在1050～1150℃度高温中烧结成陶瓷靶；二、薄膜材料的制备，即采用射频磁控溅射法，调整好溅射机的各项参数，衬底原位加热到一定温度后，溅射沉积所需厚度的薄膜。本发明的方法制得的薄膜具有高度的择优取向和良好的导电性，表面致密平整，在室温下的电阻率约为1mΩcm。这种薄膜可以用作制备高质量钙钛矿结构铁电薄膜材料的缓冲层，或者可作为铁电薄膜器件的底电极。