简介： 本发明涉及一种制备AZO靶材的工艺，其包括将菱锌矿粉加入氨水和碳酸氢氨溶液中进行浸出，对浸出液进行除杂、过滤；将过滤后的固体先用氨水溶液洗涤，再用无水乙醇淋洗；接着进行陈化、抽滤，得到前驱体；将前驱体干燥、煅烧，得到纳米氧化锌粉体；将上述纳米氧化锌粉体和氧化铝粉体加入聚丙烯酸溶液中，形成悬浮液，再对悬浮液进行球磨；接着将过硫酸铵和四甲基乙二胺均匀加入球磨后的悬浮液中，进行真空除气后倒入模具，并固化、脱模干燥得到生坯；对生坯排胶处理后进行烧结，得到 AZO 靶材。本发明不仅工艺流程较短，设备投资较小；本发明将氧化锌纳米级颗粒通过上述工艺制备的AZO靶材成分分布均匀、密度高，提高了AZO靶材的使用性能。