简介： 本发明公开了一种钡基复合钙钛矿结构微波介质陶瓷Ba3Zn(Nb2‑xMox)O9+x/2(x﹦0.006～0.009)，材料介质体系组成简单，采用非化学计量比，内部含有微量的晶格缺陷，有助于烧结过程中的元素扩散与重排；煅烧过程采用煅烧+球磨+煅烧的预烧工艺，使得物相的合成更加完全，没有杂相；烧结温度为1400‑1450℃，烧结与退火过程采用同种组分埋烧并加盖烧，既防止了元素的挥发，又可避免不同组分埋烧带来的杂质元素的引入，保证了烧结过程体系化学组分的一致；采用后退火工艺进一步改善了体系内的元素有序分布状况，提高了体系的微波介电性能。本发明能够满足新兴的5G通讯网络28GHz的Ka波段通信需求，介电常数为36～39，品质因数(Qf)为90, 000～110，000GHz，谐振频率温度系数为‑22～24ppm/℃。