改进的多尺度高温散斑制备方法
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改进的多尺度高温散斑制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种改进的多尺度高温散斑制备方法,包括以下步骤:1.确定并优化数字散斑场特征参数,生成优化后的多尺度模拟散斑图,并将其转化为CAD文件;2.在试件表面进行双层膜镀膜;3.用飞秒激光系统对与所述试件同样进行双层膜镀膜的玻璃片或者硅片上进行散斑制作的工艺测试,根据外层镀膜厚度设计微观尺度散斑微孔深度和宏观尺度散斑孔的深度,获得各尺度散斑直径以及散斑深度下的飞秒激光系统的激光脉冲参数;4.在试件表面的双层膜上进行刻蚀得到多尺度散斑图案。本发明对试件本身表面无损,在高温环境下不易脱落,并可增强试件耐高温、抗腐蚀等能力。
本发明公开了一种改进的多尺度高温散斑制备方法,包括以下步骤:1.确定并优化数字散斑场特征参数,生成优化后的多尺度模拟散斑图,并将其转化为CAD文件;2.在试件表面进行双层膜镀膜;3.用飞秒激光系统对与所述试件同样进行双层膜镀膜的玻璃片或者硅片上进行散斑制作的工艺测试,根据外层镀膜厚度设计微观尺度散斑微孔深度和宏观尺度散斑孔的深度,获得各尺度散斑直径以及散斑深度下的飞秒激光系统的激光脉冲参数;4.在试件表面的双层膜上进行刻蚀得到多尺度散斑图案。本发明对试件本身表面无损,在高温环境下不易脱落,并可增强试件耐高温、抗腐蚀等能力。
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标签:无损检测
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