热电填充式方钴矿器件的稳定电极/扩散阻挡层的制造
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热电填充式方钴矿器件的稳定电极/扩散阻挡层的制造
来源:北方有色网
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简介: 公开了用于制造电接触部的n型和p型填充式方钴矿热电臂的方法。对CoSi2的第一材料和掺杂剂进行球磨以形成第一粉末,对所述第一粉末与n型方钴矿的第二粉末进行热机械加工以形成设置在掺杂的CoSi2的第一层与第三层之间的n型方钴矿层。此外,对于诸如钴或铬中的至少一种、铁和镍的多个组分进行球磨以形成第一粉末,对所述第一粉末与p型方钴矿层进行热机械加工以形成设置在该第一粉末的第一层与第三层之间的p型方钴矿层“第二层”。在热压之后,第一层与n型方钴矿和p型方钴矿层两者的方钴矿层之间的比接触电阻小于约10.0μΩ·cm2。
公开了用于制造电接触部的n型和p型填充式方矿热电臂的方法。对CoSi2的第一材料和掺杂剂进行球磨以形成第一粉末,对所述第一粉末与n型方钴矿的第二粉末进行热机械加工以形成设置在掺杂的CoSi2的第一层与第三层之间的n型方钴矿层。此外,对于诸如钴或铬中的至少一种、铁和的多个组分进行球磨以形成第一粉末,对所述第一粉末与p型方钴矿层进行热机械加工以形成设置在该第一粉末的第一层与第三层之间的p型方钴矿层“第二层”。在热压之后,第一层与n型方钴矿和p型方钴矿层两者的方钴矿层之间的比接触电阻小于约10.0μΩ·cm2。
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