基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统
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基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开一种基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统,包括相差显微镜,设在所述相差显微镜的物镜后焦面的为共轭面的偏振方向与补偿面的偏振方向正交的偏振板,在相差显微镜的成像面后面设有空域相移干涉模块。空域相移干涉模块由相位调整装置、分光透镜组、四分之一波片15、偏振分束器以及图像传感器构成。本发明只需要在现有相差显微镜的前提下更换配有相板的物镜,可实现真正的实时测量,可以定量地测量物体,并且可以实现无损地实时测量物体三维信息。
本发明公开一种基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统,包括相差显微镜,设在所述相差显微镜的物镜后焦面的为共轭面的偏振方向与补偿面的偏振方向正交的偏振板,在相差显微镜的成像面后面设有空域相移干涉模块。空域相移干涉模块由相位调整装置、分光透镜组、四分之一波片15、偏振分束器以及图像传感器构成。本发明只需要在现有相差显微镜的前提下更换配有相板的物镜,可实现真正的实时测量,可以定量地测量物体,并且可以实现无损地实时测量物体三维信息。
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