简介： 本发明公开了一种半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，包括第一生产区域、第二生产区域、第三生产区域、第一横移区域和第二横移区域，所述第一生产区域包括精轧管设备、内外脱脂装置、光亮热处理装置、矫直装置和齐头装置，第二生产区域包括精密抛光设备、表面检查台和超声波涡流联合无损探伤设备，第三生产区域包括电解抛光和清洗装置、纯化和清洗装置、吹扫干燥装置和包装装置。通过上述方式，本发明采用自动化装备与流程间的智能化传送装置相结合，构成基本智能化生产线，使流程顺畅、管线连线短，避免生产流程的交叉和迂回往返，使得半导体制备装置用超高纯净不锈钢管制造全程连续生产，保证了整个生产过程高效运行。