简介： 本发明公开了一种判定GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积的方法，所述方法包括：将被测太赫兹肖特基二极管固定在测试台面，利用直流测试用探针扎在太赫兹肖特基二极管的两个金属焊盘上；使用半导体测试仪测试太赫兹肖特基二极管的电流和电压；基于获得的电流和电压，利用公式（7）计算出肖特基二极管结面积，实现了快速鉴别管芯，对器件无损伤，成本较低的技术效果。