简介： 本发明公开了一种基于相干层析的太赫兹三维成像装置，该装置包括太赫兹源、太赫兹波准直系统、迈克尔逊干涉系统和探测系统，准直系统对太赫兹源产生的波进行准直，迈克尔逊干涉系统用于将准直后的太赫兹波入射到分束镜上分为样品光和参考光，通过参考臂的扫描和样品台的移动，改变参考光和样品光的光程差，实现了对样品的不同部位、不同深度的扫描；探测系统用于对干涉信号进行探测处理，并控制参考臂上下扫描和样品臂左右扫描，实现太赫兹相干层析成像。本发明利用宽频太赫兹的弱相干原理，可以实现对待测样品的高精度三维图像重构，具有较高的纵向分辨率和更加广泛的应用领域，尤其是在高精度的材料无损探测领域具有非常巨大的应用前景。