简介： α-IGZO薄膜传感阵列的影像传感器及其制备方法，属于半导体器件及其制备方法技术领域，包括呈交叉排列的一组栅极线和一组数据线、以及由所述栅极线和数据线所界定的呈阵列状排布的像素单元，所述像素单元包括一个薄膜晶体管器件和一个光电二极管器件，所述薄膜晶体管器件，包括相对形成沟道的源极和漏极，所述源极和漏极之间设置有α-IGZO薄膜岛，所述漏极与数据线连接。通过用α-IGZOTFT制成α-Si:HPIN传感器，应用于实时X射线医疗影像（荧光透视）系统和/或无损测试系统，进而改进系统性能。使用α-IGZOTFT后的迁移率要比目前商用非晶硅TFT的高出10~15倍,具有较低的截止电流，其信噪比也降低了约30%。大幅提高了实时医疗X射线影像品质。