简介： 本发明属于铍矿分析测试技术领域，具体涉及一种原位微区定量分析铍含量的方法，采集铍矿石样品；铍矿石样品制作成探针片或光薄片；识别铍矿物，并对探针片或光薄片样品表面热蒸镀碳膜；铍矿物原位微区定量分析。通过配置针对超轻元素的大尺寸晶面间距的分光晶体，并配备脉冲高度分析器，可以实现铍矿物的原位微区定量分析，可对铍矿物进行微米级别的无损分析，有助于获取铍矿物在微区尺度的成分信息，运用该测试方法技术，没有复杂的样品制备过程，具有原位、微区、无损、实时、操作简便、灵敏度高等优势。