简介： 本发明属于激光探测技术领域,具体为一种激光探针微区成分分析仪。其结构为:激光器,扩束镜和第一全反射镜依次位于同一水平光路上;第一全反射镜的反射面与水平光路的夹角为45度;工业CCD位于第一全反射镜的上方,工业CCD和第一聚焦物镜自上而下依次放置且光轴重合;三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜的下方;全反射镜活动安装在样品的反射光路上,光纤探头位于全反射镜的反射光路上;工业CCD通过光纤与带有显示器的计算机连接,光纤探头与光栅光谱仪、增强型CCD和计算机连接。该激光探针仪能对物质微区元素进行无损探测,能满足各种材料及尺寸的器件的快速元素成分定性分析,还可以针对样品微区的微量甚至痕量元素进行高精度的定量分析。