简介： 本发明提供一种离子照射装置。其所具有的特征是离子束线具有始端和终端,并且在始端和终端之间至少配置1个离子束无损型束电流测定装置,又,所具有的特征是始端是离子源,终端是设置了半导体晶圆的处理室,在半导体晶圆的前段上配置离子束无损型束电流测定装置。