简介： 本发明涉及一种精密气浮平台，属于运输装置技术领域，气浮平台包括一个或多个相互平行的支承表面，支承表面包括正压单元和负压单元；正压单元包括压力出口，压力出口提供加压气体，且用于产生支承被承载物的支承气膜；负压单元包括压力入口，压力入口提供低于环境压力的压力值，产生与支承气膜相反的吸附压力；每一个正压单元和负压单元的周围围绕有大气连通槽，大气连通槽局部排出所述压力出口的质量流量或局部提供压力入口的质量流量，使所述大气连通槽处的压力保持为环境压力。通过采用上述技术方案，能让薄型柔性物体稳定、可靠、无接触地悬浮于气浮平台上，实现低摩擦、高精度、无损、高效的支承、运输、检测和加工处理。