简介： 本发明涉及一种基于微透镜的三维超分辨率干涉仪，包括干涉仪和微透镜。在干涉仪的物镜与样品间加入微透镜。在工作时将光学显微镜的工作平面聚焦到微透镜的像平面上，调节两个物镜的位置从而在微透镜区域产生干涉条纹，沿光轴扫描参考反射镜，并用相机记录下在扫描过程中所产生的包含干涉条纹的图像并发送至计算机保存、处理构建三维超分辨率图像。由于本发明在成像时对环境无特殊要求，无需对样品进行复杂的处理、标记，并且可以实现快速、非侵入、无损的三维超分辨率成像，因此在纳米成像领域具有重要的潜在应用，如集成电路(IC)的制造与检测。