简介： 本发明公开了一种多路激光发射装置，属于半导体材料无损检测技术领域。该多路激光发射装置包括多路分光棱镜和激光器，多路分光棱镜包括多个分光面，多个分光面之间平行，多个分光面与水平方向的夹角分别为45°，多个分光面的中心处在同一直线上，激光器发射的激光沿着与直线的垂直方向射向其中一处于最外侧的分光面，通过给多个分光面赋予差异化的反射率和透射率，使得经过多个分光面透射或者反射的多路出射光光强相同，激光器内部增设反馈电路。该多路激光发射装置能够增强激光器的输出功率和波长的稳定性。