简介:
本实用新型涉及一种全动式剪切/干涉镜。它由一个分光镜、两个反射镜和激光扩束器组成,一个反射镜可控平移,另一个反射镜可控偏转,激光扩束器以活动铰链机构连接安装,可控偏转的反射镜可拆卸,从而可实现多模式无损检测方式,可调整测量灵敏度和灵敏度方向,引入相移,实现图像自动分析。
本实用新型涉及一种全动式剪切/干涉镜。它由一个分光镜、两个反射镜和激光扩束器组成,一个反射镜可控平移,另一个反射镜可控偏转,激光扩束器以活动铰链机构连接安装,可控偏转的反射镜可拆卸,从而可实现多模式无损检测方式,可调整测量灵敏度和灵敏度方向,引入相移,实现图像自动分析。