简介： 本发明涉及一种表征薄膜残余应力的方法，包括：采用薄膜/衬底结构的样片，控制激光器发射出一定频率和能量的短脉冲激光束，在样片表面汇聚成线性激光束，样片表面产生超声表面波；压电传感器探测，并采集离散时域电压信号；得到实验频散曲线；建模并得到无残余应力状态下的薄膜/基底模型理论频散曲线；将实验频散曲线与理论频散曲线进行比较，定性确定样片薄膜残余应力的大小排列。本发明可以快速、无损检测薄膜残余应力。