简介： 该发明公开了一种微波探针扫描图像的后期处理方法，涉及微观物体表面结构无损检测技术领域。本申请在探针针尖与待测样品的远距离的条件下，将扫描得到的待测样品的模糊图像反演到清晰图像。该方法是求解出待测样品距离远的模糊图像与距离近的清晰图像(同一待测样品)之间的映射关系，将待测样品距离远的模糊图像代入到该映射关系反演出清晰图像。该方法的优点是基本不改变电特性分布的同时还能使图像清晰度得到提高，进一步可以拓展预设定的针尖与样本距离的合理范围。本发明可以应用于表面凹凸不平的薄膜、细胞、光刻掩膜板、芯片等表面形貌成像。