简介： 一种基于波导结构的集成式太赫兹共焦成像装置及成像方法，属于太赫兹共焦成像领域。本发明装置包括太赫兹辐射源、太赫兹波导管、太赫兹半透半反镜、太赫兹聚焦透镜、成像样品、金属针孔、太赫兹探测器、数据采集卡、计算机。本发明将传统光路中的分立器件集成在太赫兹波导中，使太赫兹共焦成像装置集成紧凑，解决了目前太赫兹共焦成像技术中存在的结构复杂、体积较大问题。能实现对样品的高分辨三维成像，获取成像样品内部更为丰富的信息，在无损检测、生物医学、安检等领域具有广阔的应用前景。