简介： 本发明公开了一种多层薄膜层间粘附性能表征方法及其试样制备方法，其包括步骤：制备检测试样，首先解理镀有待测多层薄膜的晶片和未镀膜的衬底晶片，直接获得侧壁平整光滑、无损伤的薄膜小试片和衬底小试片，随后通过试片粘结、背面开槽等步骤完成检测试样的制备；利用四点弯曲法(4PB)测试薄膜层间粘附力；利用扫描电子显微镜(SEM)观察经过4PB测试所形成的试片截面。本发明通过优化试样的制备方法和四点弯曲法的测试参数，大幅缩短了测试周期，提高了测试成功率以及测试结果的准确性和可重复性；而通过SEM直接观察经过4PB测试所形成的试样截面，可以快速地确定多层薄膜层间结合最薄弱的界面，从而为相关工艺改进指明方向。