简介： 本发明涉及光学诊断领域，公开了一种原位分析聚变装置第一镜表面杂质的方法，首先测量并记录原始第一镜的太赫兹时域波谱，然后测量磁约束聚变装置运行一段时间后载有杂质灰尘的第一镜表面反射太赫兹时域波谱；将两者在有效频域内分别进行傅里叶变换，并进一步得到聚变装置运行过后沉积在第一镜表面灰尘杂质层的相对反射率谱，将其与计算机数据库中所有物质的太赫兹吸收峰相比较；如果数据库中某种物质的特征吸收峰重合，就证明第一境表面杂质灰尘中含有该物质。本发明是一种无损检测方法，可以有效地检测沉积杂质的物理化学信息；由于太赫兹波在聚等离子体及真空腔室内传播过程损耗极小，可以实现远距离原位在线诊断，信噪比较高，稳定性好；依据本发明，可以开发出小型，高效，直观的第一镜表面检测设备。