简介： 本发明公开了一种结合涡流与永磁扰动柔性阵列技术的传感器，将阵列式涡流检测线圈蚀刻在聚酰亚胺薄膜上，以及将永磁扰动检测的磁敏元件阵列焊于柔性电路板上，依靠聚酰亚胺电路板的柔性特点，形成可弯曲的柔性阵列式传感器。柔性阵列式传感器包覆在橡胶骨架外表面，借助橡胶具有柔性可变形的特点，使得阵列式传感器可以与复杂曲面良好耦合，对铁磁性构件表面及次表面裂纹等缺陷进行无损检测。涡流接收线圈和永磁扰动检测元件均采用空间错排布局，提高阵列传感器的空间分辨率。沿扫查方向，涡流与永磁扰动阵列先后对同一缺陷进行检测，可以降低缺陷的漏检率和误报率。