接触照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板
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接触照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板
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简介: 以接触式照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板,本发明以应力双折射方法测得的应力值表示基板强度,适用于生产的玻璃基板的应力值范围为100—200nm,并且是至少三点的极大应力值;使用本发明确定的玻璃基板具有无在线炸裂现象、研磨性能好、再生使用次数增加的优点,为玻璃基板的在线使用提供了无损的定量检测依据,能使荫罩版的生产成本降低。
以接触式照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板,本发明以应力双折射方法测得的应力值表示基板强度,适用于生产的玻璃基板的应力值范围为100—200nm,并且是至少三点的极大应力值;使用本发明确定的玻璃基板具有无在线炸裂现象、研磨性能好、再生使用次数增加的优点,为玻璃基板的在线使用提供了无损的定量检测依据,能使荫罩版的生产成本降低。
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标签:无损检测
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