简介： 本发明涉及一种光电器件界面缺陷表征方法及装置，解决了现有技术中光电器件界面处缺陷不能无损检测的技术问题。本发明的方法包括：建立待测光电器件的等效电路模型；在设定的直流偏压下，根据设定的温度范围及温度步长，在每个温度下，变化待测光电器件两端交流电压的角频率，利用所述等效电路模型，获取所述光电器件总电容随所述角频率变化的测试曲线，得到不同温度下的特征频率；根据所述不同温度下的特征频率，线性拟合得到直线斜率；根据所述直线斜率，获取所述光电器件的激活能和俘获界面，根据所述激活能和俘获界面表征光电器件的界面缺陷，实现对光电器件的无损检测。