简介： 本发明提供一种精准推进探针的方法，该方法能够对薄膜进行无损测量，尤其适用于半导体半导体薄膜，具体地，利用感应收缩簧的感应端超出导电弹性针头的一定距离进行测距，并根据测距结果控制推进速度和时间，且能够监测到探针与纳米级厚度薄膜的接触应力大小。该探针方法适合对半导体半导体薄膜进行无损、稳定、可重复的准确检测，同时也适合推广到其它薄膜材料的电学检测。