操作具有电容变送器的绝对压力或相对压力传感器的方法
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操作具有电容变送器的绝对压力或相对压力传感器的方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种操作压力传感器的方法,所述压力传感器包括测量膜片,至少一个对置体和具有在测量膜片上的电极和空间位置固定的对电极之间的两个压力相关电容的电容变送器,其中测量膜片以压力密闭的方式将体积分为两个体积部,其中第二体积部封闭在测量膜片和对置体间的测量腔内,其中测量膜片的偏移取决于压力测量变量p,其为体积部内的体积部内的第一压力p1和第二压力p2之间的差,其中压力测量变量p由两个电容产生,其中,对于完好无损的压力传感器,第二电容为第一电容以及在给定情况下的温度的预定函数,其中方法具有如下步骤:捕捉两个电容的值对;检测值对是否在容限范围内符合预定函数;并且如果在太长的时间内情况不符合,则确定传感器的变化或损坏。
本发明涉及一种操作压力传感器的方法,所述压力传感器包括测量膜片,至少一个对置体和具有在测量膜片上的电极和空间位置固定的对电极之间的两个压力相关电容的电容变送器,其中测量膜片以压力密闭的方式将体积分为两个体积部,其中第二体积部封闭在测量膜片和对置体间的测量腔内,其中测量膜片的偏移取决于压力测量变量p,其为体积部内的体积部内的第一压力p1和第二压力p2之间的差,其中压力测量变量p由两个电容产生,其中,对于完好无损的压力传感器,第二电容为第一电容以及在给定情况下的温度的预定函数,其中方法具有如下步骤:捕捉两个电容的值对;检测值对是否在容限范围内符合预定函数;并且如果在太长的时间内情况不符合,则确定传感器的变化或损坏。
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标签:无损检测
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