简介： 本发明提供一种精确定位微电子器件电迁移测试中空洞位置的方法，将聚焦离子束机台切割以及纳米探针接地的作用应用到微电子器件电迁移测试中空洞位置的无损定位中，大大提高电迁移空洞定位的精确度，进而提高了电迁移失效分析的成功率及效率。